发明专利已授权

一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法

📄 申请号：CN201911254102.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-12-10

公开号

CN111175870A

公开日

2020-05-19

申请人

鲁东大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B5_18

IPC 分类号

G02B5_18

技术画像

所属领域

光栅制备光栅制备微纳加工光学元件制造

应用场景

光通信, 激光器, 光谱分析, 衍射光学元件, 半导体制造

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摘要

本发明公开了一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法，涉及微细加工领域，包括：导轨底座、传动轴、承载滑块、PDMS固定盖板、限位侧板。使用时，将光栅PDMS软模板有结构的一面向上固定在装置承载部上，通过调节传动轴使承载滑块向远离固定部的方向移动，拉伸PDMS软模板，从而增大软模板上周期结构的尺寸，在PDMS软模板有结构的一面涂覆固化胶，将基底放在固化胶上，然后通过加热或曝光的方法固化胶体，待胶体固化后再将PDMS软模板剥离，此时在基底上获得所需周期的光栅结构。通过改变软模板拉伸量，可得到不同周期尺寸的光栅结构。本发明装置操作简单，使用方便，能够满足低成本、批量复制不同周期尺寸光栅的要求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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