本发明为一种中红外集成双通道滤光片的制备方法，其克服了现有技术中光谱仪微型化程度得不到保证以及不能实现任意光谱或者大范围光谱分光的问题，本发明能够完成任意光谱或大范围光谱的分光，微型化与集成化程度更高。本发明包括以下步骤：S1、基片清洗后，先在基片背表面镀制3‑5μm中红外增透膜；S2、在基片前表面进行第一次光刻构图；S3、沉积第一通道滤光片薄膜；S4、通过剥离工艺将光刻胶及胶上薄膜去除，得到单通道滤光片；S5、在基片前表面进行第二次对准光刻；S6、沉积第二通道滤光片薄膜；S7、进行第二次剥离工艺将光刻胶及胶上薄膜去除，得到中红外集成双通道滤光片。
📄 2021100290362
📂 G02B5_28
👤 西安工业大学
📅 2021-01-11
本发明公开了一种基于多PIT效应的四通道光学滤波器，包括二氧化硅衬底、金属层、石墨烯层、两个第一谐振腔、第二谐振腔、第三谐振腔、第四谐振腔和第五谐振腔，所述二氧化硅衬底水平设置，所述金属层水平设置在所述二氧化硅衬底的上端，其上端设有沿前后方向延伸的条形波导，所述波导的两端分别水平延伸至所述金属层的前后两端，两个所述第一谐振腔分别沿前后方向间隔设置在所述金属层的上端，并分别位于所述波导的左右两侧，两个所述第一谐振腔均与所述波导连通，所述石墨烯层设置在两个所述第一谐振腔之间，并填充在所述波导内。本发明所述的光学滤波器，具有功耗低和尺寸小的优点。
📄 2019100856880
📂 G02B5_28
👤 湖北工程学院
📅 2019-01-29
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