发明专利 已授权

基于闭环交叉耦合迭代学习的水晶研磨控制方法与系统

📄 申请号:CN202011504841.8 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2020-12-18
公开号
CN112596389B
公开日
2022-05-17
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

水晶研磨, 精密制造, 工业自动化, 智能制造

摘要

本发明公开了一种基于闭环交叉耦合迭代学习的水晶研磨控制方法与系统,其中方法包括以下步骤:S10,建立水晶研磨伺服系统数学模型;S20,建立离散型闭环交叉耦合迭代学习控制器对位置进行控制;S30,离散型闭环迭代学习控制器产生新的控制信号;S40,控制器根据期望位置信息和实际信息得到新的跟踪误差;S50,经过轮廓误差分配模型补偿到各轴以消除每个轴对其它轴的影响。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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