发明专利已授权

基于铁磁薄膜与法布里珀罗腔的磁场传感系统

📄 申请号：CN202111163301.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-09-30

公开号

CN113933764A

公开日

2022-01-14

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01R33_032

IPC 分类号

G01R33_032

技术画像

所属领域

传感系统磁场传感光学干涉测量薄膜传感技术传感系统

应用场景

工业检测, 医疗诊断, 电力系统监测, 地质勘探, 航空航天

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摘要

本发明提出了一种基于铁磁薄膜与法布里珀罗腔的磁场传感系统，其中铁磁薄膜为钇铁石榴石薄膜，放置在完全固定的法布里珀罗腔的内部，腔内的光场可以双向透过薄膜，当外界磁场信号存在时，薄膜对磁场产生的响应由腔的透射特性反映出来，获得利用光学谐振腔透射特性解调的磁场传感系统。通过选取腔和薄膜的结构参数，在铁磁薄膜与法布里珀罗腔构成的传感单元内同时获得高品质因数的光学模式和高频率的力学模式，利用直流磁场调谐铁磁共振频率与腔的力学模式频率接近，获得谐振增强，提升交流磁场传感灵敏度。实现了力学模式和光学模式的解耦使得同时获取高光学品质因数和高频率力学模式成为可能，为高频磁场探测提供了新的技术方案。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于上下文信息的深度学习成对模型人耳检测方法

当前第 / 件

一种紧凑型高增益单馈毫米波背腔贴片滤波天线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：19 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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