发明专利已授权

一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪及其测量方法

📄 申请号：CN201510846708.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-11-27

公开号

CN105371754B

公开日

2018-02-02

申请人

成都信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02 , G01B11_02 ,

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量光学精密测量精密计量仪器

应用场景

精密位移测量, 数控机床校准, 工业计量检定, 半导体制造定位, 微纳加工测量

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摘要

本发明公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m‑1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20180202

✅ 授权

20160330

?? 实质审查的生效：

20160302

📄 公开

一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法

当前第 / 件

一种采用波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法

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