发明专利已授权

一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法

📄 申请号：CN201510852413.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-11-27

公开号

CN105509637A

公开日

2016-04-20

申请人

成都信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02 , G01B11_02 ,

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量光学精密测量波长修正技术

应用场景

精密位移测量, 光刻机工作台定位, 纳米级表面形貌测量, 光学元件检测, 数控机床误差标定

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摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种等边三角形碳纤维伸缩杆

当前第 / 件

一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪及其测量方法

同领域国内专利 · IPC: (G01B9_02)

G01B9_02 G01B9_02001 G01B9_02017 G01B9_02055 G01B9_02056 G01B9_02091 G01B9_021 覆盖7个领域

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