发明专利已授权

一种采用波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法

📄 申请号：CN201510846645.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-11-27

公开号

CN105371753B

公开日

2018-03-27

申请人

泰安泰山长弘矿山机械装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量光学精密计量波长修正技术

应用场景

半导体制造, 精密机械加工, 纳米计量, 光学元件检测, 光刻设备

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摘要

本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪及其测量方法

当前第 / 件

可遥控式厢式车装卸系统

同领域国内专利 · IPC: (G01B9_02)

G01B9_02 G01B9_02001 G01B9_02017 G01B9_02055 G01B9_02056 G01B9_02091 G01B9_021 覆盖7个领域

议价

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