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发明专利
已授权
一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管
📄 申请号:CN202210495854.6
📄 发布日:2026/06/16
著录项目信息
申请日
2022-05-09
公开号
CN114843377B
公开日
2025-06-27
申请人
金陵科技学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H10H20_812
IPC 分类号
H10H20_812
,
H10H20_825
,
技术画像
所属领域
紫外发光二极管
半导体光电子器件
氮化物半导体
发光二极管外延结构
紫外发光二极管
应用场景
紫外固化, 杀菌消毒, 水处理, 空气净化, 光催化
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摘要
本发明提供了一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管(UV‑LED),其构成要素自下而上依次包括:衬底、AlN成核层、AlN缓冲层、非掺杂AlGaN缓冲层、n型AlGaN层、AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱有源区和p型AlGaN层。在p型AlGaN层和n型AlGaN层上分别引出p型欧姆电极和n型欧姆电极。在最后一层AlyGa1‑yN量子垒(QB)中间插入禁带宽度比QB更高、但晶格常数和QB相同的AlInGaN插入层,用以取代传统的电子阻挡层(EBL)。采用AlInGaN插入层的UV‑LED可以将最后一层QB与EBL界面由极化场引起的空穴耗尽层转换为空穴积累层,提高空穴注入效率。同时,可以有效减小最后一层QB和p型区之间的能带弯曲,提高电子和空穴波函数的重叠程度,且更容易将电子局限在有源区内,从而提高的载流子辐射发光,最终提高UV‑LED的内量子效率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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