本发明提供了一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管(UV‑LED),其构成要素自下而上依次包括:衬底、AlN成核层、AlN缓冲层、非掺杂AlGaN缓冲层、n型AlGaN层、AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱有源区和p型AlGaN层。在p型AlGaN层和n型AlGaN层上分别引出p型欧姆电极和n型欧姆电极。在最后一层AlyGa1‑yN量子垒(QB)中间插入禁带宽度比QB更高、但晶格常数和QB相同的AlInGaN插入层,用以取代传统的电子阻挡层(EBL)。采用AlInGaN插入层的UV‑LED可以将最后一层QB与EBL界面由极化场引起的空穴耗尽层转换为空穴积累层,提高空穴注入效率。同时,可以有效减小最后一层QB和p型区之间的能带弯曲,提高电子和空穴波函数的重叠程度,且更容易将电子局限在有源区内,从而提高的载流子辐射发光,最终提高UV‑LED的内量子效率。
📄 2022104958546
📂 H10H20_812
👤 金陵科技学院
📅 2022-05-09