实用新型已授权

一种硅基结构的微热板

📄 申请号：CN201820626465.1 📄 发布日：2026/06/15

著录项目信息

申请日

2018-04-28

公开号

CN208182611U

公开日

2018-12-04

申请人

南京邮电大学南通研究院有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B81B7_02

IPC 分类号

B81B7_02 , B81C1_00 ,

技术画像

所属领域

微电子机械系统（MEMS）微电子机械系统（MEMS）微加热器薄膜加热元件

应用场景

气体传感器, 环境监测, 空气质量检测, 工业安全监测, 智能传感

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摘要

本实用新型公开了一种硅基结构的微热板，所述微热板的衬底采用晶向为<100>的单晶硅，所述衬底表面由内致外依次覆盖有多孔硅层、绝热层和加热区，所述绝热层为二氧化硅层，所述加热区为Pt电极；其中，衬底背部与多孔硅层被腐蚀成坑。本实用新型的微热板在原有的腐蚀基础上，进一步腐蚀中间的多孔硅层。腐蚀后的绝热层，与空气接触面积变大，因为空气的导热性能差，所以可以有效的防止工作区的热量散失到硅基上；新设计的旁热式Pt电极能将热量有效的集中在工作区域内，提高工作效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种光纤切割装置

当前第 / 件

一种钕铁硼磁体生产用压机取样装置

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