实用新型已授权

晶圆抛光设备

Name: 晶圆抛光设备
Brand: 深圳市栗橡科技有限公司
SKU: 2021217477757
Availability: InStock

📄 申请号：CN202121747775.7 📄 发布日：2026/06/09

著录项目信息

申请日

2021-07-29

公开号

CN215547738U

公开日

2022-01-18

申请人

深圳市栗橡科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B29_02

IPC 分类号

B24B29_02 , B24B41_00 , B24B55_06 , B24B45_00 , B24B41_06 ,

技术画像

所属领域

抛光设备半导体制造设备化学机械抛光晶圆加工抛光设备

应用场景

半导体晶圆制造, 芯片前道工艺, 集成电路抛光

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摘要

本实用新型涉及晶圆抛光技术领域，且公开了该晶圆抛光设备，晶圆抛光设备，包括L型底板，L型底板的顶部固定安装抛光电机，抛光电机的输出端固定安装有抛光盘，抛光盘的外表面活动连接有抛光棉，L型底板的外表面固定安装有限位结构，L型底板的外表面活动连接有防尘罩，防尘罩的外表面固定安装有偏心限位杆，限位结构的内表面固定安装有半圆限位块，抛光盘的外表面活动连接有螺纹杆。通过抛光电机带动抛光盘转动，抛光盘带动抛光棉转动对晶圆主体进行抛光，达到快速抛光的目的，扭动螺母，使得抛光棉方便拆装，更换完成后再将螺母扭紧，与螺纹杆相配合来达到固定抛光棉的目的。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN215547738U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种螺母压盖生产用压合加工设备

当前第 / 件

晶圆清洗设备

同领域国内专利 · IPC: (B24B29_02)

B24B29_00 B24B29_02 B24B29_04 B24B29_06 B24B29_08 覆盖5个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：188 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

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