晶圆清洗设备

晶圆清洗设备

实用新型已授权

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，且公开了晶圆清洗设备，包括支撑块，支撑块的顶部设置有清洁装置，支撑块的顶部固定连接有工作台，支撑块的顶部固定连接有环形滑板，环形滑板的内表面开设有环形滑道，且环形滑道的内表面滑动连接有环形管，环形管的外表面固定连通有短管，短管的底部固定连通有气垫。该晶圆清洗设备，通过左右移动活动杆，使得换气通道内部的气压不断变化，气垫与晶圆之间的空气通过短管进入到环形管，再通过环形管进入到软管中，再到换气通道内部，最终通过出气管排出，随着活动杆的不断移动，气垫与晶圆之间的空气不断减少，使得气垫与晶圆之间牢牢固定。

📄 2021217477969 📂 B08B3_02 👤 深圳市栗橡科技有限公司 📅 2021-07-29

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一种单片式晶圆清洗设备

实用新型已授权

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，具体涉及一种单片式晶圆清洗设备，包括壳体，所述壳体的外壁前端铰接有箱门，所述箱门的内壁中心处固定有隔板，所述隔板的外壁顶端设置有清洗组件，所述清洗组件包括清洗台、夹持部件和排水部件，所述清洗台的外壁底端与隔板的外壁顶端固定连接，通过上述方式可知本实用新型中能够通过设置的驱动电机驱动左夹持架和晶圆进行转动，使得工人在晶圆清洗好一个端面后不需要将其取下才能进行翻转，进而能够免去工人取下晶圆再进行翻转的步骤，从而能对晶圆的清洗效率做进一步提高。

📄 2022226167561 📂 B08B3_02 👤 西安共进光电技术有限责任公司 📅 2022-10-02

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一种单片式晶圆清洗设备

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