实用新型已授权

一种芯片制造生产用翻转装置

📄 申请号：CN202520999373.8 📄 发布日：2026/05/12

著录项目信息

申请日

2025-05-21

公开号

CN224290602U

公开日

2026-05-26

申请人

安徽万特环保科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H10P72_76

IPC 分类号

H10P72_76 , H10P74_20 , H10P72_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆处理设备自动翻转机构

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 芯片生产, 集成电路制造, 自动化生产线

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摘要

本实用新型公开了一种芯片制造生产用翻转装置，属于芯片生产制造技术领域，解决了现有装置难以确保被夹持芯片的底面与托板的顶面位于同一平面，托板的位置不便于调节，不便于对不同位置的芯片进行支撑的问题，包括底板，所述底板顶面的后侧固定安装有支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有旋转夹持组件，所述旋转夹持组件的下方设置有支撑组件，通过第二电机、螺纹杆、滑块、横板、支撑座、电容式压力传感器及其连接关系的设置，可以使支撑座的顶面与被夹持芯片的底面接触，继而支撑座对芯片进行支撑，通过电容式压力传感器的设置，便于判断支撑座的顶面是否与芯片的底面接触，达到了便于调节支撑座的位置，继而对不同位置的芯片进行支撑的目的。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种建筑能耗碳排放检测检验装置

当前第 / 件

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