发明专利已授权

硅微/纳米柱的制备方法

📄 申请号：CN202210686875.6 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2022-06-17

公开号

CN115159446B

公开日

2024-07-12

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81C1_00

IPC 分类号

B81C1_00 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

微纳加工微纳加工半导体工艺纳米材料

应用场景

半导体器件, 传感器, 光电子器件, 微机电系统, 纳米制造

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摘要

本发明提供一种硅微/纳米柱的制备方法，属于硅微/纳米结构的制备技术领域。本方法包括如下步骤：(1)从磨抛好的块体硅样品中利用FIB电镜提取用于加工微/纳米柱的初始坯料；(2)利用FIB电镜加工圆台型粗坯；(3)借助FIB电镜，使用环形加工图案对圆台型粗坯进行粗加工，获得硅微/纳米柱粗坯；(4)保持环形加工图案内径不变，逐渐增加其外径进行精加工，确保直径符合需求；(5)利用FIB电镜削平硅微/纳米柱顶部，确保高度符合需求；(6)去除加工过程引入的非晶层。采用本发明的技术方案，可制备尺寸精度高、加工锥度小的硅微/纳米柱，所制备的硅微/纳米柱直径偏差不大于10％，锥度小于10°。所得硅微/纳米柱可用作原位电镜力学测试样品。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种多机多目标动态定位系统及方法

当前第 / 件

一种流体旋转接头的新型旋转密封结构

同领域国内专利 · IPC: (B81C1_00)

B81C1_00 覆盖1个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：69 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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