发明专利已授权

一种多单晶炉冷却水循环系统控制方法

📄 申请号：CN202510038407.1 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2025-01-10

公开号

CN119440149A

公开日

2025-02-14

申请人

华东交通大学; 晶科能源股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05D27_02

IPC 分类号

G05D27_02 , G05D23_19 , G05D7_06 , F27D1_12 , F27D19_00 , G06N5_048 , G06N3_126 , G06F17_10 , C30B15_20 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

系统控制自动控制系统冷却水循环系统单晶炉系统控制

应用场景

单晶硅生产, 工业冷却, 循环水控制, 晶硅制造

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摘要

本发明提供一种多单晶炉冷却水循环系统控制方法，包括：建立晶体生长速度和冷却水系统能耗的多目标函数；基于非支配排序遗传算法对多目标函数进行求解，得到目标炉内温度和目标冷却水流速；采用模糊控制理论建立温度和流速调节的模糊控制器，通过模糊控制器输出温度调节系数和流速调节系数；风机根据温度调节系数对冷却器进行温度控制，电机根据流速调节系数对泵进行流速控制。本发明能够降低冷却水循环系统的能耗，提升控制精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于偏振条纹投影结构光融合的三维重构方法及其系统

当前第 / 件

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同领域国内专利 · IPC: (G05D27_02)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：92 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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