实用新型已授权

一种用于半导体制造设备的钟摆阀

📄 申请号：CN202121041429.7 📄 发布日：2026/04/20

著录项目信息

申请日

2021-05-17

公开号

CN214699287U

公开日

2021-11-12

申请人

江苏阀邦半导体材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16K3_10

IPC 分类号

F16K3_10 , F16K31_04 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备真空阀门阀门密封结构阀门驱动机构半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 真空镀膜, 等离子体刻蚀, 薄膜沉积

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型提供一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：阀体外壳、调节电动机、密封板、从动齿轮、电机外壳以及电动机，阀体外壳的下表面安装有电机外壳，电机外壳的内部安装有调节电动机，调节电动机的上表面安装有密封板，阀体外壳的上表面开设有阀孔，阀体外壳的内部安装有密封块，阀体外壳的内部安装有支撑槽，支撑槽的内部安装有压缩弹簧,与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过增加电动机、主动齿轮、从动齿轮、支撑槽、压缩弹簧以及压紧钉，实现当调节好密封板的通气量，只需要打开电动机，就能够使得压紧钉向下平移，从而压紧钉压紧密封板，使得密封板紧贴阀体外壳，以此提升密封力。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种乳胶漆生产用监测预警设备

当前第 / 件

一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门

同领域国内专利 · IPC: (F16K3_10)

F16K3_00 F16K3_02 F16K3_03 F16K3_04 F16K3_06 F16K3_08 F16K3_10 F16K3_12 F16K3_16 F16K3_18 F16K3_20 F16K3_22 F16K3_24 F16K3_26 F16K3_28 F16K3_30 F16K3_314 F16K3_32 F16K3_34 F16K3_36 F16K31_00 F16K31_02 F16K31_04 F16K31_05 F16K31_06 F16K31_08 F16K31_11 F16K31_12 F16K31_122 F16K31_126 F16K31_14 F16K31_145 F16K31_16 F16K31_163 F16K31_165 F16K31_18 F16K31_20 F16K31_22 F16K31_363 F16K31_42 F16K31_44 F16K31_46 F16K31_50 F16K31_52 F16K31_53 F16K31_54 F16K31_60 F16K31_62 F16K31_64 F16K35_00 F16K35_02 F16K35_06 F16K35_10 F16K35_16 F16K37_00 F16K39_02 覆盖56个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：90 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种用于半导体制造设备的钟摆阀

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (F16K3_10)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种农业灌溉用调节阀

一种阀体组装用自动缩口机

一种耐腐型阀体

服务项目

资源中心

关于柿子坊