实用新型已授权

一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门

📄 申请号：CN202121041436.7 📄 发布日：2026/04/20

著录项目信息

申请日

2021-05-17

公开号

CN214889100U

公开日

2021-11-26

申请人

江苏阀邦半导体材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16K15_06

IPC 分类号

F16K15_06 , F16K1_36 , F16K1_46 , F16K27_02 ,

技术画像

所属领域

阀门技术阀门技术流体控制半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 芯片加工, 工艺气体输送系统, 流体管路控制

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摘要

本实用新型提供一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括法兰连接盘、进液管、上固定壳、第一连接板、第二连接板以及紧固螺栓，第一连接板与第二连接板内部开设有密封槽，密封槽内部装配有O形密封圈，上固定壳内部上侧设置有密封座，密封座内部开设有定位凹槽，上固定壳内部设置有导向滑杆，导向滑杆内侧设置有支承板，导向滑杆环形侧面下侧安装有复位弹簧，支承板上侧安装有定位凸块，定位凸块上端面设置有橡胶垫，导向滑杆环形侧面下侧设置有限位挡板，该设计能够通过定位凸块与定位凹槽的匹配连接对进液管的开口位置进行密封，通过导向滑杆能够使定位凸块在逆流防止阀门内部进行上下移动，能够防止液体在阀门内部逆流。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于半导体制造设备的钟摆阀

当前第 / 件

一种具有报警功能的液气压阀检测装置

同领域国内专利 · IPC: (F16K15_06)

F16K15_00 F16K15_02 F16K15_03 F16K15_04 F16K15_06 F16K15_10 F16K15_18 F16K15_20 覆盖8个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：113 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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