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实用新型已授权

本实用新型提供一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：阀体外壳、调节电动机、密封板、从动齿轮、电机外壳以及电动机，阀体外壳的下表面安装有电机外壳，电机外壳的内部安装有调节电动机，调节电动机的上表面安装有密封板，阀体外壳的上表面开设有阀孔，阀体外壳的内部安装有密封块，阀体外壳的内部安装有支撑槽，支撑槽的内部安装有压缩弹簧,与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过增加电动机、主动齿轮、从动齿轮、支撑槽、压缩弹簧以及压紧钉，实现当调节好密封板的通气量，只需要打开电动机，就能够使得压紧钉向下平移，从而压紧钉压紧密封板，使得密封板紧贴阀体外壳，以此提升密封力。

📄 2021210414297 📂 F16K3_10 👤 江苏阀邦半导体材料科技有限公司 📅 2021-05-17

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一种用于半导体制造设备的钟摆阀