实用新型已授权

一种高效SVG显影装置

📄 申请号：CN202321800026.5 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2023-07-11

公开号

CN220271735U

公开日

2023-12-29

申请人

德兴市意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_30

IPC 分类号

G03F7_30

技术画像

所属领域

显影设备显影设备湿法加工设备光刻配套设备

应用场景

PCB制造, 半导体制造, 平板显示制造, 印刷制版

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摘要

本实用新型公开了一种高效SVG显影装置，其包括：机壳、第一旋转驱动装置、第一转盘、第二转盘、显影液喷头和纯水喷头，所述第一旋转驱动装置设置在机壳内腔底部，所述第一转盘水平设置在第一旋转驱动装置的顶部输出端，所述第一转盘顶面中部竖向设置有隔板，所述第二转盘可旋转地设置在第一转盘上方，并位于隔板的两侧，所述机壳中设置有延伸至第二转盘上方的支架，所述显影液喷头和纯水喷头间隔设置在支架上并与两个第二转盘一一对应。本实用新型所述的高效SVG显影装置，两个第二转盘利用隔板进行隔离，可以分别进行显影液和纯水的喷淋，减少空等的时间，提升了生产的效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体晶片氧化炉用保护气体布气装置

当前第 / 件

一种避免引脚变形的MOS芯片封装结构

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