发明专利已授权

一种光刻胶组合物及其制备方法

📄 申请号：CN202310105690.6 📄 发布日：2026/02/03

著录项目信息

申请日

2023-02-13

公开号

CN116300311B

公开日

2026-01-27

申请人

吴佳敏

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03F7_004

IPC 分类号

G03F7_004

技术画像

所属领域

组合物光刻胶感光树脂半导体材料组合物

应用场景

半导体制造, 集成电路, 光刻工艺, 微纳加工, 平板显示

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摘要

本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种光刻胶组合物及其制备方法；包括原料为对羟基苯乙烯共聚物30～45份、三苯基硫鎓盐2～4份、金属团簇物8～15份、环氧乙烷10～20份、自由基光引发剂2～3份、溶剂30～40份；以对羟基苯乙烯共聚物为主体、三苯基硫鎓盐为光致产酸剂，添加金属团簇物增加对紫外光的吸收，枝状环氧乙烷树脂在酸性条件下，发生开环反应后再彼此连接，形成交联网状结构，降低光刻胶膜的溶解性，添加自由基光引发剂，制备成负性光刻胶组合物，对深紫外光具有较强的吸收能力，提高了光刻胶的灵敏度和抗刻蚀性能，光刻胶的最小分辨尺寸小，光照区域形成网状结构，不易被洗脱，负性光刻胶整体性能得到提高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

8-羟基喹啉类抗癌锌(II)配合物及其合成方法和应用

当前第 / 件

一种卷簧机设备弹簧加工）

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：217 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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