实用新型已授权

抛光浆供给装置

📄 申请号：CN202322638486.9 📄 发布日：2026/01/23

著录项目信息

申请日

2023-09-27

公开号

CN221065904U

公开日

2024-06-04

申请人

嘉兴祥瑛机械设备制造有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B57_02

IPC 分类号

B24B57_02 , B24B41_00 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备化学机械抛光流体输送装置

应用场景

半导体制造, 晶圆抛光, 集成电路平坦化, 芯片制程, 精密加工

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摘要

本实用新型属于抛光浆输送技术领域，尤其为抛光浆供给装置，包括储存罐，本实用新型通过设置限位轨道、定位孔、放置板、连接杆和定位螺杆等部件，需要调整蠕动泵的输送方向时，逆时针转动定位螺杆，令定位螺杆的底端脱离定位孔，然后推动放置板，放置板底部的万向轮可令放置板移动，放置板移动时会带动底部的连接杆和限位块，限位块在限位轨道内移动，限位轨道则能够限制放置板的移动轨迹，放置板带动缓冲结构和蠕动泵移动，当蠕动泵的位置调节完毕后，顺时针转动定位螺杆，令其重新插进定位孔内，实现对放置板的定位，然后即可启动蠕动泵对抛光浆进行输送，无需调整储存罐的位置，即可实现对输送泵的输送角度调节，省时省力。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

平面抛光轮加工设备

当前第 / 件

平面工件抛光机

同领域国内专利 · IPC: (B24B57_02)

B24B57_00 B24B57_02 B24B57_04 覆盖3个领域

¥2100.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：104 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 北京筑方舟科技有限公司

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