实用新型 已授权

抛光浆供给装置

📄 申请号:CN202322638486.9 📄 发布日:2026/01/23

著录项目信息

申请日
2023-09-27
公开号
CN221065904U
公开日
2024-06-04
申请人
嘉兴祥瑛机械设备制造有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 晶圆抛光, 集成电路平坦化, 芯片制程, 精密加工

摘要

本实用新型属于抛光浆输送技术领域,尤其为抛光浆供给装置,包括储存罐,本实用新型通过设置限位轨道、定位孔、放置板、连接杆和定位螺杆等部件,需要调整蠕动泵的输送方向时,逆时针转动定位螺杆,令定位螺杆的底端脱离定位孔,然后推动放置板,放置板底部的万向轮可令放置板移动,放置板移动时会带动底部的连接杆和限位块,限位块在限位轨道内移动,限位轨道则能够限制放置板的移动轨迹,放置板带动缓冲结构和蠕动泵移动,当蠕动泵的位置调节完毕后,顺时针转动定位螺杆,令其重新插进定位孔内,实现对放置板的定位,然后即可启动蠕动泵对抛光浆进行输送,无需调整储存罐的位置,即可实现对输送泵的输送角度调节,省时省力。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN221065904U

购买这项专利需要经过哪些流程?

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 2100.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24B57_02)

B24B57_00 B24B57_02 B24B57_04 覆盖3个领域
¥2100.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:170 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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