实用新型已授权

一种光刻胶吐出机构

📄 申请号：CN202322386506.8 📄 发布日：2025/12/18

著录项目信息

申请日

2023-09-04

公开号

CN220872873U

公开日

2024-04-30

申请人

住晶新材料科技(烟台)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_16

IPC 分类号

G03F7_16

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻胶涂布流体控制

应用场景

半导体制造, 集成电路光刻, 晶圆涂胶, 半导体设备, 显示面板制造

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摘要

本实用新型公开了一种光刻胶吐出机构，涉及光刻胶领域，包括进胶管和出胶管，出胶管包括出胶管主体、螺纹槽、圆台凸起和出胶口，出胶管主体顶部内壁开设有螺纹槽，出胶管主体底部内壁固定连接有圆台凸起，出胶管主体底端开设有出胶口，出胶口设有两组且对称设置在出胶管主体底端，出胶管包括出胶管主体、螺纹槽、圆台凸起和出胶口，出胶管主体顶部内壁开设有螺纹槽，该一种光刻胶吐出机构，进胶管底端螺纹固定连接有出胶管，进胶管包括进胶管主体、进胶口、限位孔和螺纹壁，进胶管主体顶端开设有进胶口，进胶管主体底端外壁固定连接有螺纹壁，在进行使用时，通过拧动出胶管可通过控制光刻胶的通过量来实现调整出胶速度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

数显式智能水表电路板耐电压稳定性测试装置

当前第 / 件

一种用于蔬菜种苗繁育的杀菌装置

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