实用新型已授权

一种印模板加工用紫外纳米压印装置

📄 申请号：CN202223227031.X 📄 发布日：2026/04/09

著录项目信息

申请日

2022-12-02

公开号

CN218974771U

公开日

2023-05-05

申请人

南昌瀚宸新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_00

IPC 分类号

G03F7_00

技术画像

所属领域

纳米压印纳米压印紫外纳米压印微纳加工设备

应用场景

微纳制造, 半导体加工, 精密光学元件制造, 纳米压印光刻, 模板复制加工

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摘要

本实用新型公开了一种印模板加工用紫外纳米压印装置，属于纳米压印技术领域，包括加工箱，所述加工箱内腔上壁的两侧均装配有电动推杆，所述电动推杆的伸缩杆均栓接有箱体，所述箱体的内腔设置有缓冲机构，所述加工箱内腔下壁的居中部位栓接有加工台，所述加工箱内腔下壁的两侧均栓接有固定板，所述固定板的相应一侧均通过螺纹套螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧均栓接有手柄，所述螺纹杆的内侧均栓接有夹持块，所述加工箱内腔背面的下半部装配有紫外灯，所述加工箱底部的两侧均栓接有支撑腿，所述加工台的顶部设置有压印板。通过缓冲机构便于对不同厚度和表面凹凸不平的工件进行均匀压印，同时可防止工件破损，大大增加了装置的实用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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