发明专利 已授权

一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺

📄 申请号:CN202311045448.0 📄 发布日:2026/07/31

著录项目信息

申请日
2023-08-18
公开号
CN117000713A
公开日
2023-11-07
申请人
南通罡丰科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

冶金设备维护, 光伏硅料提纯设备清理, 半导体晶体生长炉清洁, 工业炉窑维护, 石墨坩埚再生

摘要

本发明公开了一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置及清理工艺,涉及到碳化硅技术领域,包括放置有石墨坩埚的承载板,还包括深度水洗单元和升降单元。本发明结构合理,本装置采用高压去离子水冲洗和超声波清洗相结合的方式对石墨坩埚内腔的深度积炭进行处理,清洗效果好也不存在引入新杂质以及腐蚀问题,且利用高压水的反作用力带动旋转冲洗单元做旋转上升运动,实现对石墨坩埚内壁的全面清洗同时也使得在超声波清洗时旋转冲洗单元移出石墨坩埚内腔,避免阻碍气泡与石墨坩埚内壁面接触而影响清洗效果,同时采用边清洗边过滤循环使用的方式保护清洗液的洁净度,有利于提高清洗效果。

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是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN117000713A

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

¥23300.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:31 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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