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发明专利
已授权
芯片磨料设备
📄 申请号:CN201810962310.X
📄 发布日:2025/11/29
著录项目信息
申请日
2018-08-22
公开号
CN109015278A
公开日
2018-12-18
申请人
重庆市嘉凌新科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
B24B27_00
IPC 分类号
B24B27_00
,
B24B41_06
,
技术画像
所属领域
半导体制造设备
半导体制造设备
研磨抛光设备
机械加工设备
应用场景
芯片制造, 晶圆加工, 半导体封装, 电子器件制造
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摘要
本发明涉及芯片加工领域,尤其涉及芯片磨料设备,包括打磨盘和转动盘,转动盘位于打磨盘的上方,打磨盘上设有若干竖直设置的通孔,若干通孔内均滑动连接有打磨杆,打磨杆的顶端与转动盘之间均连接有压簧,打磨杆的底端为打磨端,相邻的打磨杆之间滑动连接,打磨盘的下方设有用于放置晶圆的支撑机构,转动盘上连接有驱动机构。本方案防止了晶圆在打磨之后形成的打磨面为斜面,利于提高晶圆的打磨质量。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
二极管用印标装置
当前第 / 件
二极管焊接烘烤装置
同领域国内专利 · IPC: (B24B27_00)
B24B27_00
B24B27_02
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B24B27_08
覆盖
5
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
在售
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📋 项目申报:
未申报
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