发明专利已授权

一种原位失效分析样品台及扫描电镜

📄 申请号：CN201910314190.7 📄 发布日：2025/11/17

著录项目信息

申请日

2019-04-18

公开号

CN110010435A

公开日

2019-07-12

申请人

山东省分析测试中心

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01J37_20

IPC 分类号

H01J37_20 , H01J37_28 , G01N23_2251 , G01N23_2204 ,

技术画像

所属领域

扫描电子显微技术扫描电子显微技术原位测试技术材料失效分析

应用场景

材料失效分析, 半导体器件失效分析, 金属材料研究, 微纳结构表征, 电子元器件可靠性分析

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摘要

本公开提供了一种原位失效分析样品台及扫描电镜。其中，一种原位失效分析样品台，包括换向部，其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合；第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上；第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上；夹持部，其安装在第二齿轮轴端部，用于夹持样品；驱动部，其与第一齿轮轴相连，用于驱动第一锥形齿轮转动，带动第二锥形齿轮原位转动，进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动，以实现样品的原位失效分析。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种超声波疲劳试验中样品分离装置及其应用

当前第 / 件

一种含缺陷交互作用的金属材料应力集中分析方法

同领域国内专利 · IPC: (H01J37_20)

H01J37_02 H01J37_06 H01J37_08 H01J37_18 H01J37_20 H01J37_317 H01J37_32 覆盖7个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：145 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 3件好评率 98.5%

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