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| 专利/申请号： | CN202321097690.8 | 专利名称： | 一种硅片干燥机构 |
| 申请日： | 2023-05-09 | 申请/专利权人 | 浙江星宇能源科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 浙江省衢州市开化县工业园区茶场片区茶四路2号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | F26B9/06 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-12-12 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN220169787U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 5 | 所属领域： | 半导体制造设备 自动化机械专利转让搜索 |
应用场景：光伏产业硅片生产;半导体芯片制造流程中的清洗后干燥环节
摘 要：本实用新型涉及硅片烘干技术领域，具体为一种硅片干燥机构，包括机体，所述机体左右两端内壁中均开设有机槽，所述机体前端铰接有机门；需先将硅片放入料板上，关上机门，通过机体内壁上的发热板向机体内供热，使其温度上升，机门上安装的保温板可使机体内部所产生的温度进行恒温，同时启动机体顶端上的气泵，带动左右两端上的气管向机槽内部进行供气，再通过机体内壁上的输气嘴将气体喷发出来，增加机体内部的气流流通，提高硅片干燥速度。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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