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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202310691653.8 | 专利名称： | 一种晶棒直径测量装置及测量方法 |
| 申请日： | 2023-06-13 | 申请/专利权人 | 山西东明光伏科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山西省长治市郊区马厂镇安阳村南路18号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01B11/08 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-08-22 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN116428998B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 6 | 所属领域： | 半导体制造 光学测量技术 自动化检测设备专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶棒生产过程中的直径实时监测；光伏单晶硅棒加工质量控制；集成电路用晶圆前道工序检测
摘 要：本申请公开了一种晶棒直径测量装置及测量方法，涉及单晶硅制备的技术领域，晶棒直径测量装置包括安装板、固定机构和测量机构，固定机构和测量机构均设置在安装板上；安装板上开设有若干个用于放置晶棒的安装槽，若干组固定机构沿安装槽长度方向间隔排布在安装槽两侧，测量机构设置在安装槽两侧且与固定机构交替间隔排布。本申请中的晶棒直径测量方法包括：S1：将两个限位环向远离安装槽的方向转动并将安装板调整为竖直状态；S2：提拉晶棒至安装槽内，通过第一托板、第二托板和固定机构对晶棒进行固定；S3：将安装板调整为水平状态；S7：利用测距传感器对晶棒直径进行测量。本申请能够对从冷却炉中提拉出来的晶棒直径进行检测。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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