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一种真空压膜机
发明 已授权
本发明适用于压膜设备领域,提供了一种真空压膜机,包括进板模块、真空压膜模块和出板模块,进板模块包括进板运输结构,第一载膜涨紧结构和清洁单元;真空压膜模块设有可相互开合的真空腔体,真空腔体连接有加压组件;出板模块包括出板运输结构、第二载膜涨紧结构和冷却结构;进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输,通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作,第二载膜涨紧结构进行收卷动作,带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合,通过载膜运输结构来对载膜进行压紧,避免载膜在压合时发生位置变化,以保证基板两面的贴膜作业,且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁,以保证载膜的整洁度。
📄 2023106129744 📂 H05K3_00 👤 有为半导体技术(广东)有限公司 📅 2023-05-26
¥0.0
本实用新型适用于压膜设备领域,提供了一种能实现四点压膜的真空压膜结构,包括上动板和下基础板,上动板设有上真空框,下基础板设有下真空框,上真空框和下真空框组合成真空腔体,上真空框内设有上加热组件,下真空框内设有下加热组件,上动板设有四个加压油缸,每一加压油缸的输出轴穿过上动板与上加热组件连接,下基础板的下方设有驱动油缸,每一驱动油缸的输出轴与上动板连接;由驱动气缸驱动上动板使得上真空框个下真空框的合拢,再由加压气缸驱动上加热组件以实现与下加热组件的紧密压紧,使得膜材和基板有效压合,两套施压装置可以避免压力分散,保证各分运动的施加压力有效和准确,可以更好的保证区域受力均匀和压膜效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
📄 2023213549365 📂 H05K3_00 👤 有为半导体技术(广东)有限公司 📅 2023-05-30
¥0.0
本实用新型适用于贴膜设备领域,提供了一种设有气液增压系统的真空压膜结构,包括上动板和下基础板,上动板上设有上真空框,下基础板上设有下真空框和驱动上真空框移动的第一油缸,上真空框内设有上加热组件,下真空框内设有下加热组件,上动板上设有驱动上加热板移动的第二油缸,第一油缸和第二油缸均同时连接有气液增压系统;气液增压系统包括增压组件,增压组件分别连接有油箱组件和气路组件,油箱组件和气路组件连接,油箱组件分别与第一油缸和第二油缸连接;第一油缸,和第二油缸均由独立设置的油箱组件和气路组件同时驱动,使得驱动动作更敏捷快速,油和气分开,气路不易被油污染,保证作业环境的环保卫生,方便布置和安装。
📄 2023211561606 📂 B29C63_02 👤 有为半导体技术(广东)有限公司 📅 2023-05-12
¥0.0
一种真空压膜机
实用新型 已授权
本实用新型适用于压膜设备领域,提供了一种真空压膜机,包括进板模块、真空压膜模块和出板模块,进板模块包括进板运输结构,第一载膜涨紧结构和清洁单元;真空压膜模块设有可相互开合的真空腔体,真空腔体连接有加压组件;出板模块包括出板运输结构、第二载膜涨紧结构和冷却结构;进板模块和出板模块在运输基板的同时还能带动载膜的运输,通过第一载膜涨紧结构进行放卷动作,第二载膜涨紧结构进行收卷动作,带动载膜穿过真空压膜模块与基板进行压合,通过载膜运输结构来对载膜进行压紧,避免载膜在压合时发生位置变化,以保证基板两面的贴膜作业,且进板模块上的清洁单元能很好的在载膜与基板压合前对载膜进行清洁,以保证载膜的整洁度。
📄 202321323148X 📂 H05K3_00 👤 有为半导体技术(广东)有限公司 📅 2023-05-26
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发明 已授权

一种真空压膜机

2023106129744 · 有为半导体技术(广东)有限公司
¥0.0
实用新型 已授权

一种能实现四点压膜的真空压膜结构

2023213549365 · 有为半导体技术(广东)有限公司
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实用新型 已授权

一种设有气液增压系统的真空压膜结构

2023211561606 · 有为半导体技术(广东)有限公司
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实用新型 已授权

一种真空压膜机

202321323148X · 有为半导体技术(广东)有限公司
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