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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202510602761.2 | 专利名称: | 一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置 |
申请日: | 2025-05-12 | 申请/专利权人 | 蔡丹儿 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省汕头市金平区海安街道南海横路11号海悦花园2幢307房 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B24B5/50 分类检索 |
公开/公告日: | 2025-09-26 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN120134111B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 5 | 所属领域: | 半导体制造 机械加工专利转让搜索 |
应用场景:硅晶圆柱的高效精密磨削;半导体材料加工中的表面处理与尺寸控制
摘 要:本发明公开了一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,涉及半导体生产技术领域,包括加工板,所述加工板的顶部固定安装有放置板,所述加工板的顶部固定贯穿有线性驱动机构,所述线性驱动机构的移动端顶部固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定安装有装载板,所述装载板远离驱动电机的一端固定贯穿有打磨机构,还包括夹持装置;其中,夹持装置包括电动推杆、搭载板、T形杆、一号弹簧、橡胶板、升降板、一号弹片、两个衔接杆、弧形条和支撑杆,通过加工板施加的支撑力提高打磨的稳定性,再用弧形条对硅晶圆柱施加压力,确保打磨过程中硅晶圆柱不会发生偏转影响打磨效果。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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