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| 专利/申请号： | CN202221787144.2 | 专利名称： | 一种晶圆单片式清洗机的废液回收确认装置 |
| 申请日： | 2022-07-12 | 申请/专利权人 | 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C02F9/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-02-07 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN218454068U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 42 | 所属领域： | 半导体制造设备 晶圆清洗技术 废液回收系统专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆加工产线的清洗工序;集成电路制造中的化学品回收管理;自动化生产线的环保合规性控制
摘 要：本实用新型提供有一种晶圆单片式清洗机的废液回收确认装置，包括装置主体，所述装置主体一侧表面安装有清理门板，所述清理门板表面安装有把手，所述装置主体下表面安装有支撑基座，所述支撑基座下表面安装有活动转盘。该晶圆单片式清洗机的废液回收确认装置，通过设置的反应室，能够在加料球的作用下添加化学反应的材料，能够使废液中的有害物质得到反应中和，降低了环境污染，反应后的废液里面还会含有灰尘等颗粒，需要进行下一步的过滤处理，通过设置的搅拌扇叶，可以在传动基座的作用下进行转动，从而能够对过滤室内部的废液进行离心处理，从而能够通过一号过滤板和二号过滤板对废液内部的不同直径的细小颗粒进行过滤，使用方便。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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