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| 专利/申请号： | CN202221787154.6 | 专利名称： | 一种晶圆玻璃粉擦除加工装置 |
| 申请日： | 2022-07-12 | 申请/专利权人 | 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B1/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-05-02 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN218945710U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 35 | 所属领域： | 半导体制造设备 晶圆加工技术 表面处理工艺专利转让搜索 |
应用场景：集成电路制造中的晶圆清洗工序;先进封装过程中的材料去除;半导体器件生产中的异物清理;高洁净度要求的芯片制造环节;自动化产线上的批量处理作业
摘 要：本实用新型涉及一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，属于晶圆加工技术领域，包括装置支架，所述装置支架上设有晶圆夹持组件，所述晶圆夹持组件安装在装置支架的内部上方，所述装置支架内还安装有擦除组件。通过第一电机带动双向螺杆转动，改变两个夹持杆之间的距离，方便对晶圆进行夹持，通过第二电机带动晶圆转动，与擦布适配，方便晶圆表面的玻璃粉擦除。提前转动旋钮，带动丝杆转动，根据晶圆的厚度调节两个擦除块之间的距离，通过擦布对晶圆表面的玻璃粉进行擦除。当对晶圆表面进行玻璃粉擦除时，启动抽风机，擦除的玻璃粉回收口进入回收箱内，方便灰尘进行回收，回收口的顶端呈漏斗状，方便灰尘进入回收口内。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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