实用新型已授权

一种晶圆玻璃粉擦除加工装置

Name: 一种晶圆玻璃粉擦除加工装置
Brand: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
SKU: 2022217871546
Availability: InStock

📄 申请号：CN202221787154.6 📄 发布日：2026/07/15

著录项目信息

申请日

2022-07-12

公开号

CN218945710U

公开日

2023-05-02

申请人

华林科纳(江苏)半导体设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B1_02

IPC 分类号

B08B1_02 , B08B1_00 , B08B5_04 , B08B13_00 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

玻璃粉半导体加工设备晶圆制造表面清理技术玻璃粉

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 芯片制造, 电子器件制造

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摘要

本实用新型涉及一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，属于晶圆加工技术领域，包括装置支架，所述装置支架上设有晶圆夹持组件，所述晶圆夹持组件安装在装置支架的内部上方，所述装置支架内还安装有擦除组件。通过第一电机带动双向螺杆转动，改变两个夹持杆之间的距离，方便对晶圆进行夹持，通过第二电机带动晶圆转动，与擦布适配，方便晶圆表面的玻璃粉擦除。提前转动旋钮，带动丝杆转动，根据晶圆的厚度调节两个擦除块之间的距离，通过擦布对晶圆表面的玻璃粉进行擦除。当对晶圆表面进行玻璃粉擦除时，启动抽风机，擦除的玻璃粉回收口进入回收箱内，方便灰尘进行回收，回收口的顶端呈漏斗状，方便灰尘进入回收口内。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218945710U

购买这项专利需要经过哪些流程？

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230502

✅ 授权

一种拖拉机油箱盖用卡子

当前第 / 件

一种拖拉机油箱加油用辅助装置

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