实用新型已授权

一种硅片双面磨削装置

📄 申请号：CN202121090495.3 📄 发布日：2026/08/03

著录项目信息

申请日

2021-05-20

公开号

CN215547351U

公开日

2022-01-18

申请人

浙江鑫研电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B7_22

IPC 分类号

B24B7_22 , B24B41_06 , B24B47_14 , B24B47_12 , B24B41_04 , B24B49_12 ,

技术画像

所属领域

磨削装置双面磨削磨削装置

应用场景

半导体晶圆制造, 集成电路制造成型, 硅片减薄加工, 电子器件制造

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摘要

本实用新型公开了一种硅片双面磨削装置，包括工作台、电动推杆一、支撑座和滑槽，所述工作台上端设置有所述电动推杆一，所述电动推杆一上端设置有所述支撑座，所述电动推杆一一侧设置有所述滑槽，所述滑槽内设置有支撑柱，所述支撑柱上端内部设置有电机二，所述电机二的输出轴上设置有旋转盘，所述支撑柱一侧壁上设置有液压杆。有益效果在于：本实用新型通过设置电机二和旋转盘，在磨削过程中，电机二可带动旋转盘转动，进而依靠摩擦力使硅片转动，在转动过程中，硅片的固定部位则发生改变，可使磨削头对硅片进行全面磨削，无需工期进行人工磨削，减小工作人员的工作强度，提高装置实用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

一种研磨盘开槽高效加工装置

同领域国内专利 · IPC: (B24B7_22)

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¥2350.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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