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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202121090495.3 | 专利名称: | 一种硅片双面磨削装置 |
申请日: | 2021-05-20 | 申请/专利权人 | 浙江鑫研电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 浙江省衢州市开化县华埠镇百盛路263号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B24B7/22 分类检索 |
公开/公告日: | 2022-01-18 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN215547351U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 8 | 所属领域: | 半导体专利转让搜索 |
应用场景:集成电路制造中的晶圆背面减薄工艺;光伏产业硅片表面平整化处理;半导体材料生产中的双面研磨工序
摘 要:本实用新型公开了一种硅片双面磨削装置,包括工作台、电动推杆一、支撑座和滑槽,所述工作台上端设置有所述电动推杆一,所述电动推杆一上端设置有所述支撑座,所述电动推杆一一侧设置有所述滑槽,所述滑槽内设置有支撑柱,所述支撑柱上端内部设置有电机二,所述电机二的输出轴上设置有旋转盘,所述支撑柱一侧壁上设置有液压杆。有益效果在于:本实用新型通过设置电机二和旋转盘,在磨削过程中,电机二可带动旋转盘转动,进而依靠摩擦力使硅片转动,在转动过程中,硅片的固定部位则发生改变,可使磨削头对硅片进行全面磨削,无需工期进行人工磨削,减小工作人员的工作强度,提高装置实用性。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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