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| 专利/申请号： | CN202411779621.4 | 专利名称： | 基于MEMS技术的半导体探针卡电参数提取方法及系统 |
| 申请日： | 2024-12-05 | 申请/专利权人 | 道格特半导体科技(江苏)有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省南通市启东市经济开发区林洋路500号 |
| 专利状态： | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号： | G01R31/26分类检索 半导体专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2025-03-18 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN119644086A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了基于MEMS技术的半导体探针卡电参数提取方法及系统，涉及半导体测试技术领域，该方法包括以下组成部分：初始化设置：将MEMS探针卡对准待测晶圆上的目标测试区域，利用机械夹持装置将探针卡与晶圆牢固地固定在一起，并启动集成在探针卡中的动态传感器和反馈控制机制，本发明通过集成决策树模型与遗传算法，实现了对半导体晶圆表面特征与最佳探针接触参数的精准映射与优化，不仅提升了测试的智能化水平，还显著增强了测试过程的自适应性与稳定性，动态监测与闭环控制机制确保了探针接触参数的实时调整，有效降低了测试误差，提高了测试精度，通过优化算法寻找最优接触参数组合，进一步缩短了测试周期，提升了测试效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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