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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202321328449.1 | 专利名称: | 一种溶液固化装置 |
申请日: | 2023-05-29 | 申请/专利权人 | 苏州惠力达半导体材料有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区(太湖新城)胜信路23号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B05D3/06分类检索 化学化工专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2023-11-21 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN220048854U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本实用新型公开了一种溶液固化装置,包括基座,所述基座内部固定有电机,所述底轴另一端与轨道板底端外侧面连接固定,所述轨道板顶端套设有安装套板,所述安装套板顶端螺纹安装有锁定螺栓,所述安装套板底端固定有基板,所述基板末端贯穿安装有调节螺纹杆,所述调节螺纹杆底端通过轴承座与安装板顶面旋转连接,所述安装板底面安装有UV固化灯。该溶液固化装置,采用新型的结构设计,通过机械驱动结构,带动UV固化灯进行大幅正反交替旋转摆动,不断改变UV固化灯的照射角度,对不同尺寸晶圆表面的旋涂光刻胶进行全面多角度的均匀照射固化,且UV固化灯的安装位置能够便捷的调整,能够实现对晶圆局部光刻胶的加速固化。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |