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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202010277329.8 | 专利名称: | 一种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法 |
申请日: | 2020-04-10 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明涉及石英晶片生产设备领域,具体为一种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法,包括立架,立架上设置有驱动机构和输送带,驱动机构位于输送带上方,驱动机构的两侧均设置有连杆组件,右侧的连杆组件连接刻蚀溶液输出机构、左侧的连杆组件连接清洗液输出机构,清洗液输出机构与废液回收机构相连接,输送带通过链轮组件与驱动机构相连接,且输送带上等间隔固定有多个溶液池。该种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法,通过驱动机构带动输送带匀速输送石英晶片,使得刻蚀时间容易控制,实现自动注入刻蚀溶液,并且刻蚀溶液的输出量均匀可控,在对刻蚀后的石英晶片清洗的同时对废液进行回收,提高清洗效果和回收废液的效率。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |