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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202010277329.8 | 专利名称： | 一种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法 |
| 申请日： | 2020-04-10 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 27 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及石英晶片生产设备领域，具体为一种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法，包括立架，立架上设置有驱动机构和输送带，驱动机构位于输送带上方，驱动机构的两侧均设置有连杆组件，右侧的连杆组件连接刻蚀溶液输出机构、左侧的连杆组件连接清洗液输出机构，清洗液输出机构与废液回收机构相连接，输送带通过链轮组件与驱动机构相连接，且输送带上等间隔固定有多个溶液池。该种石英晶片生产专用刻蚀设备及其使用方法，通过驱动机构带动输送带匀速输送石英晶片，使得刻蚀时间容易控制，实现自动注入刻蚀溶液，并且刻蚀溶液的输出量均匀可控，在对刻蚀后的石英晶片清洗的同时对废液进行回收，提高清洗效果和回收废液的效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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