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| 专利/申请号： | CN201810021356.1 | 专利名称： | 一种硅片双面处理装置 |
| 申请日： | 2018-01-10 | 申请/专利权人 | 池州市星聚信息技术服务有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 安徽省池州市贵池区江口街道通港大道89号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B24B27/033 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-08-18 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN108067993B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 64 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开了一种硅片双面处理装置，包括底座、第一伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、下模板、上模座、过渡条、滑动吸取机构、进气通道、进气管、托架、直线模组、立板、调速电机、弹性机构、磨头、支架、转轴、第二伺服电机、第一齿轮、第二齿轮、夹取机构、清洁机构，将硅片直接置于定位槽内，滑动吸取机构将硅片吸紧，第一伺服电机驱动上模座前移，调速电机带动磨头转动，直线模组带动磨头移动，完成硅片“扫描”时磨洗，第二伺服电机带动硅片翻转180°，从而对硅片下表面进行磨洗处理。该装置结构简单，能对硅片的正反两面进行自动磨洗处理，而且通过“扫描”式磨洗，能对硅片表面各个地方进行均匀磨洗，提高表面处理质量。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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