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摘 要:本发明涉及一种光掩膜基板处理用智能上料工具,包括固定架、上料模块、升降模块和清理模块,固定架为U型结构,固定架下端安装有上料模块,固定架内对称安装有升降模块,升降模块呈对角布置,固定架中部对称安装有清理模块,清理模块呈对角布置。本发明可以实现对光掩膜基板的上料功能,同时能够对光掩膜基板表面进行清理。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202411162851.6 | 专利名称: | 一种光掩膜基板处理用智能上料工具 |
申请日: | 2024-08-23 | 申请/专利权人 | 安徽精石技术有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 安徽省滁州市明光市浮山路以西、八岭湖路以北高端电子信息专精特新产业园1号厂房1层、2层 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | G03F1/68搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2024-11-26 | 转让价格: | 17500.0元 |
公开/公告号: | CN119024638A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |