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一种光栅尺的误差补偿系统及方法

来源:https://www.shizifang.com  发布日:2025/03/19

摘     要:本发明公开了一种光栅尺的误差补偿系统及方法,其中光栅尺的误差补偿系统包括底座、气浮滑动装置和激光干扰仪,底座包括第一平台、第二平台和第三平台,第二平台的顶面设有光栅尺;气浮滑动装置包括半包围滑块和气浮块,半包围滑块的顶面设有光栅尺读数头;激光干扰仪包括设置在同一水平面的激光头、分光镜以及反光镜。本发明,将光栅尺的行程范围内设置K个点,通过激光干扰仪依次测量两相邻点之间的距离,同时通过光栅尺测量该两相邻点之间的距离,得到两者之间的测量数值差,进而进行误差分段线性拟合,再得到该段距离内的修正系数,进而得到全程范围内的修正系数,输出给后序电子设备,进而提高了光栅线位移测量装置的测量精度。

著 录 项: 

专利/申请号: CN201710537064.9 复制 专利名称: 一种光栅尺的误差补偿系统及方法 复制
申请日: 2017-07-04 申请/专利权人 吉林大学珠海学院,珠海市怡信测量科技有限公司
专利类型: 发明 地址: 广东省珠海市金湾区草堂村吉林大学珠海学院机械与汽车工程系;
专利状态: 已下证 查询审查信息 分类号: G01B11/02搜分类   光学仪器搜索
公开/公告日: 2017-09-15 转让价格: 面议
公开/公告号: CN107167083A 交易状态: 等待洽谈   搜索相似专利

专利交易流程

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    5. 办理国家手续方提交办理官方手续,国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》;
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专利转让材料

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    专利转让委托书(需盖公章)一式两份 专利转让委托书(需签字)一式两份
    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
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    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
    专利证原件(若授权下证) 专利证原件(若授权下证)

专利法律信息

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