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摘 要:本发明公开了一种光栅尺的误差补偿系统及方法,其中光栅尺的误差补偿系统包括底座、气浮滑动装置和激光干扰仪,底座包括第一平台、第二平台和第三平台,第二平台的顶面设有光栅尺;气浮滑动装置包括半包围滑块和气浮块,半包围滑块的顶面设有光栅尺读数头;激光干扰仪包括设置在同一水平面的激光头、分光镜以及反光镜。本发明,将光栅尺的行程范围内设置K个点,通过激光干扰仪依次测量两相邻点之间的距离,同时通过光栅尺测量该两相邻点之间的距离,得到两者之间的测量数值差,进而进行误差分段线性拟合,再得到该段距离内的修正系数,进而得到全程范围内的修正系数,输出给后序电子设备,进而提高了光栅线位移测量装置的测量精度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710537064.9 | 专利名称: | 一种光栅尺的误差补偿系统及方法 |
申请日: | 2017-07-04 | 申请/专利权人 | 吉林大学珠海学院,珠海市怡信测量科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省珠海市金湾区草堂村吉林大学珠海学院机械与汽车工程系; |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/02搜分类 光学仪器搜索 |
公开/公告日: | 2017-09-15 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107167083A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |