一种光波导结构的双模三轴应力传感器及其制备方法

摘     要：本发明涉及应力传感器技术领域，具体是一种基于PDMS/Al/PDMS光波导结构的Fabry‑Perot和等离激元的双模三轴应力传感器及其制备方法，该应力传感器由PDMS、设置于PDMS内部的长矩形金属铝夹层组成，金属铝夹层中间由多个小矩形构成的齿型空隙；光可在PDMS/Al/PDMS波导结构传播，在金属铝的裂缝中形成Fabry‑Perot微腔，并激发SPP，PDMS为柔性基底，因此在X—Y—Z三维方向上的轻微应力都可引起的结构改变，在Z方向上形成Fabry‑Perot，在X、Y方向上激发Gap‑Spp，从而以高灵敏度的光学检测方法测量应力，同时具有高稳定、低外界干扰、便于携带的特性；相比于现有应力传感器，本发明中的结构和制备方法灵敏度高，可靠性高，成本低，体积小，功耗低，便于携带等。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注