发明专利已授权

一种光波导结构的双模三轴应力传感器及其制备方法

📄 申请号：CN202211079549.5 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2022-09-05

公开号

CN115389070B

公开日

2024-09-24

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_25

IPC 分类号

G01L1_25

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

结构健康监测, 工业自动化, 航空航天, 机器人触觉传感, 汽车碰撞安全

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摘要

本发明涉及应力传感器技术领域，具体是一种基于PDMS/Al/PDMS光波导结构的Fabry‑Perot和等离激元的双模三轴应力传感器及其制备方法，该应力传感器由PDMS、设置于PDMS内部的长矩形金属铝夹层组成，金属铝夹层中间由多个小矩形构成的齿型空隙；光可在PDMS/Al/PDMS波导结构传播，在金属铝的裂缝中形成Fabry‑Perot微腔，并激发SPP，PDMS为柔性基底，因此在X—Y—Z三维方向上的轻微应力都可引起的结构改变，在Z方向上形成Fabry‑Perot，在X、Y方向上激发Gap‑Spp，从而以高灵敏度的光学检测方法测量应力，同时具有高稳定、低外界干扰、便于携带的特性；相比于现有应力传感器，本发明中的结构和制备方法灵敏度高，可靠性高，成本低，体积小，功耗低，便于携带等。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240924

✅ 授权

20221213

?? 实质审查的生效：

20221125

📄 公开

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