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| 专利/申请号： | CN202411162001.6 | 专利名称： | 一种半导体生产用抛光装置 |
| 申请日： | 2024-08-23 | 申请/专利权人 | 江苏智慧工场技术研究院有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省无锡市经济开发区金融八街1-2201-2 |
| 专利状态： | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号： | B24B29/02分类检索 半导体专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2024-10-25 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN118832516A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了一种半导体生产用抛光装置，属于半导体生产技术领域，其包括：机壳，所述机壳的内部设置有夹持机构，所述机壳的顶部固定安装有机架，所述机架的顶部固定安装有两个气缸；所述夹持机构包括支撑盘、驱动筒、驱动盘、电动推杆和多个夹持臂，所述夹持臂的底部固定连接有滑板；监测机构包括安装板、竖框、支架和监测轮，所述安装板的底部固定连接有多个导向杆，所述竖框滑动套接在多个所述导向杆的外侧。本发明通过设置的夹持机构能够对半导体的装夹力度进行监测，从而保证装夹稳定性的同时避免力度过大导致损坏，并通过设置的监测机构能够在半导体抛光过程中实现多点监测，从而提升抛光精细度，保证进行彻底的抛光工作。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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| 2021225641908 | 【实用新型】一种正三通生产用阀芯抛光装置 | 2025/08/08 |
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