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| 专利/申请号： | CN202223350830.6 | 专利名称： | 半导体生产用蚀刻加工设备 |
| 申请日： | 2022-12-14 | 申请/专利权人 | 武汉凯思维科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 湖北省武汉市东湖新技术开发区大学园路20号武汉普天科技园2幢1层特区01 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B05B3/18 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-08-18 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN219540632U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 182 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型公开了半导体生产用蚀刻加工设备，包括U字托架以及龙门架，U字托架的底部安装有X轴伺服直线模组，且X轴伺服直线模组的移动端安装有承载半导体工件的工件托板，龙门架的顶端通过Y轴导向结构滑动安装有电机架，且电机架一侧的外壁上固定有Z轴立板，电机架的底部安装有带动Z轴立板移动的Y轴齿轮移动结构，Z轴立板一侧的外壁上通过Z轴导向结构滑动安装有固定板。本实用新型使得感光油均匀通过雾化喷头均匀覆盖在半导体工件上，省去了工作人员手动涂抹感光油的操作，保证了感光油厚度的一致性，使得半导体工件可充分感光显影，提高半导体工件的蚀刻质量。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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| 2023219392019 | 【实用新型】一种树脂材料用定长分条分切设备 | 2025/09/25 |
| 2023209216557 | 【实用新型】一种生产湿巾用消毒切割装置 | 2025/09/25 |
| 202222422368X | 【实用新型】一种便于维护的聚酯切片机 | 2025/09/24 |
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