半导体生产用蚀刻加工设备

摘     要：本实用新型公开了半导体生产用蚀刻加工设备，包括U字托架以及龙门架，U字托架的底部安装有X轴伺服直线模组，且X轴伺服直线模组的移动端安装有承载半导体工件的工件托板，龙门架的顶端通过Y轴导向结构滑动安装有电机架，且电机架一侧的外壁上固定有Z轴立板，电机架的底部安装有带动Z轴立板移动的Y轴齿轮移动结构，Z轴立板一侧的外壁上通过Z轴导向结构滑动安装有固定板。本实用新型使得感光油均匀通过雾化喷头均匀覆盖在半导体工件上，省去了工作人员手动涂抹感光油的操作，保证了感光油厚度的一致性，使得半导体工件可充分感光显影，提高半导体工件的蚀刻质量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注