实用新型已授权

机台气体置换设备

📄 申请号：CN202021728532.4 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2020-08-17

公开号

CN213207281U

公开日

2021-05-14

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F17D1_065

IPC 分类号

F17D1_065 , F17C9_02 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

工业气体处理工业气体处理半导体制造设备自动控制系统

应用场景

半导体制造, 电子器件生产, 工业气体环境控制, 工艺腔体净化, 精密设备维护

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摘要

本实用新型提供一种机台气体置换设备，涉及半导体设备领域，该机台气体置换设备包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。相较于现有技术，本实用新型提供的机台气体置换设备，能够快速置换机台腔体内的残存气体，并且快速去除机台腔体内的水汽残存，减少了清洁时间，提高了清洁效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种密封罩系统

当前第 / 件

一种光刻胶缺陷改善装置

同领域国内专利 · IPC: (F17D1_065)

F17D1_00 F17D1_02 F17D1_04 F17D1_06 F17D1_065 F17D1_07 F17D1_08 F17D1_14 F17D1_16 F17D1_17 F17D1_18 F17D1_20 覆盖12个领域

¥1800.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：15 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

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所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

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