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全部 发明 实用新型 外观设计
法律状态： 全部 已授权 审中
项目申报： 全部 报过 没有报过
共 1 件在售专利
机台气体置换设备
实用新型 已授权
本实用新型提供一种机台气体置换设备，涉及半导体设备领域，该机台气体置换设备包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。相较于现有技术，本实用新型提供的机台气体置换设备，能够快速置换机台腔体内的残存气体，并且快速去除机台腔体内的水汽残存，减少了清洁时间，提高了清洁效率。
📄 2020217285324 📂 F17D1_065 👤 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 📅 2020-08-17
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实用新型 已授权

机台气体置换设备

2020217285324 · 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
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成功交易案例

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固态锂电池电解质专利包

转让方：中国科学院××研究所
受让方：××新能源科技有限公司
交易类型：独占许可
交易金额：¥320万
🧬

CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
受让方：××生物医药有限公司
交易类型：转让
交易金额：¥1,200万
⚡

SiC功率器件工艺专利

转让方：××半导体有限公司
受让方：××汽车电子集团
交易类型：转让
交易金额：¥680万
☀️

钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
受让方：××能源集团
交易类型：开放许可
交易金额：¥50万/年
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