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摘 要:本实用新型涉及干蚀刻机技术领域,具体公开了一种导流盘安装治具,该导流盘安装治具包括支撑架、定位组件与支撑部,其中,支撑架为环形;定位组件设于支撑架,定位组件被配置为当导流盘安装到上腔体基座时对导流盘进行定位;支撑部固设于支撑架,支撑部用于供使用者抓持以转移导流盘安装治具,支撑部还用于支撑导流盘安装治具。本实用新型的定位组件能够控制导流盘与上腔体基座之间的缝隙,在导流盘安装过程能够控制导流盘与上腔体基座之间各处的缝隙一致,确保了导流盘安装位置准确的同时,缩短了反复拆装校准时间,提高工作效率,在维修保养时,还能减少人员技术不同对安装质量的差异。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202120166150.5 | 专利名称: | 一种导流盘安装治具 |
申请日: | 2021-01-21 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B25B11/00搜分类 治具夹具搜索 |
公开/公告日: | 2021-12-10 | 转让价格: | 1800.0元 |
公开/公告号: | CN215093069U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |