咨询电话：13280638997
传真：0533-3110363
邮箱：kefu@shizifang.com
24小时咨询热线13280638997
24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202023347427.9 | 专利名称： | 一种晶圆清洗检测装置 |
| 申请日： | 2020-12-31 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01B11/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-09-17 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN214223994U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 104 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型提供一种晶圆清洗检测装置，涉及半导体技术领域，包括用于承载晶圆的基座以及设置于基座的测量装置和控制器，测量装置包括光发射器和光接收器，控制器分别与光发射器和光接收器电连接，光发射器用于向晶圆发射第一光束，光接收器用于接收经晶圆反射的第一光束，控制器用于根据光接收器的接收参数确定晶圆的清洗信息。控制器可以通过分析不同位置的接收参数确定确定晶圆的清洗宽度，实现高效快速的测定。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2023221290672 | 【实用新型】一种球面圆度检测辅助装置 | 2025/10/27 |
| 2018110728333 | 【发明】一种摄影测量基准尺长度标定装置及使用方法 | 2025/10/27 |
| 2019103128813 | 【发明】一种热铸件尺寸的测量方法 | 2025/10/24 |
| 2019103128743 | 【发明】一种热铸件尺寸检测装置 | 2025/10/24 |
| 2019112006336 | 【发明】测量方法、装置、电子设备及存储介质 | 2025/10/22 |
| 2022104508525 | 【发明】机械手测试装置、测试方法、标定方法、存储介质 | 2025/10/22 |
| 2018101145839 | 【发明】叶尖三维位移量精准视觉测量方法 | 2025/10/22 |
| 2022230519991 | 【实用新型】一种二手车漆面检测装置 | 2025/10/21 |
| 2022230122243 | 【实用新型】一种汽车内饰三维成像工作台 | 2025/10/21 |
| 2022226446381 | 【实用新型】一种便于保护的便携式长度测量仪 | 2025/10/21 |
