腔室阀件安全锁定装置及半导体加工设备

摘     要：一种腔室阀件安全锁定装置及半导体加工设备，涉及半导体制造技术领域。该腔室阀件安全锁定装置，应用于半导体加工设备，包括安全装置阀件，安全装置阀件包括气动安全阀和锁止件，气动安全阀被配置于半导体加工设备的空气气源与半导体加工设备的气动阀件之间，且气动阀件连接与半导体加工设备的工艺气源与半导体加工设备的反应室之间，锁止件用于锁止或者解锁气动安全阀，以使工艺气源与反应室连通或断开。该腔室阀件安全锁定装置能够解决气动阀件误动作导致的反应室工艺气体外泄，从而提高作业安全性。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注