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| 专利/申请号： | CN202022305349.X | 专利名称： | 腔室阀件安全锁定装置及半导体加工设备 |
| 申请日： | 2020-10-15 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | F17D1/04 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-07-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213840496U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 58 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：一种腔室阀件安全锁定装置及半导体加工设备，涉及半导体制造技术领域。该腔室阀件安全锁定装置，应用于半导体加工设备，包括安全装置阀件，安全装置阀件包括气动安全阀和锁止件，气动安全阀被配置于半导体加工设备的空气气源与半导体加工设备的气动阀件之间，且气动阀件连接与半导体加工设备的工艺气源与半导体加工设备的反应室之间，锁止件用于锁止或者解锁气动安全阀，以使工艺气源与反应室连通或断开。该腔室阀件安全锁定装置能够解决气动阀件误动作导致的反应室工艺气体外泄，从而提高作业安全性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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