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| 专利/申请号： | CN202022150588.2 | 专利名称： | 一种硅片清洗装置与设备 |
| 申请日： | 2020-09-25 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B3/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-07-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213826084U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 103 | 所属领域： | 电子设备和元器件专利转让搜索 |
摘 要：本申请提供了一种硅片清洗装置与设备，涉及硅片生产制备技术领域。该硅片清洗装置包括：硅片夹具，用于夹持待清洗硅片；喷洒杆，喷洒杆内设置有通道，通道用于通入化学清洗液，并朝向待清洗硅片喷洒化学清洗液；定位器，安装于喷洒杆，用于定位待清洗硅片的圆心或硅片夹具的中心，并确定定位角度，以通过定位角度调节化学清洗液的喷洒角度。本申请提供的硅片清洗装置与设备具有即使不同工程师对硅片进行清洗操作，对硅片上的研磨颗粒清洗效果的差异也不会太大，利于后期对硅片的加工。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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