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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202110049978.7 | 专利名称: | 光刻胶的轮廓三维建模方法、系统和可读存储介质 |
申请日: | 2021-01-14 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G06F30/10分类检索 计算机硬件专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2023-04-21 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN112749424B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明的实施例提供了一种光刻胶的轮廓三维建模方法、系统和可读存储介质,涉及半导体技术领域。光刻胶的轮廓三维建模方法包括:多次收集规律图型在多个位置的光刻胶轮廓;将光刻胶轮廓重叠在一起,形成复数轮廓;获取复数轮廓的白边宽度和差异量;根据白边宽度和差异量,建立光刻胶三维模型。这样,可以从复数轮廓的灰阶图像中获取白边宽度和差异量,根据白边宽度和差异量,即可得出光刻胶侧墙的三维尺寸信息,从而建立光刻胶三维模型,不需要再单独调整系统参数来收集光刻胶侧墙的三维尺寸信息,能够显著提高建模效率和精度。而且,建立的光刻胶三维模型能够用于预测其它图型中光刻胶的三维尺寸。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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