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摘 要:一种MEMS甲烷传感器的电阻匹配调整方法,包括MEMS甲烷硅传感元件电阻特性测试步骤、MEMS甲烷硅传感元件电阻的比较步骤、MEMS甲烷硅传感元件的匹配以及阻值调整匹配步骤,适用于MEMS甲烷传感器在使用过程中构成惠斯通电桥时电阻不同的阻值调整。通过对用作敏感元件或补偿元件的MEMS甲烷硅传感元件施加电压或者通以电流进行阻值调整,利用计算误差以及计算机控制实现对MEMS甲烷传感器电阻的匹配。该方法具有使用设备简单、容易操作、调整速度快、电阻匹配程度高的优点,可有效提升MEMS甲烷传感器检测性能。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201711474771.4 | 专利名称: | MEMS甲烷传感器的电阻匹配调整方法 |
申请日: | 2017-12-29 | 申请/专利权人 | 中国矿业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省徐州市铜山区大学路中国矿业大学科研院 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N27/00搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2020-07-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108181350B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |